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潔凈廠房內有生產間、輔助間、管理區、公用動力設備區等。潔凈輔助間包括人凈化室、生活用室、物凈化室、實驗室和物料貯存用庫房等；減少管理區用房（ 包括辦公、會議等）并盡量設置在潔凈室（區）外；公用動力設備區包括空調機房、冷凍機房、 凈化用房、變配電間等，這類房間的設置通常與潔凈廠房的規模、空氣潔凈度等級、產品生產工藝要求有關。
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