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為劃分等級(jí),ISO 14644的本部分于確定粒子濃度限值用的指定的粒徑范圍.本部分還提供了標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議,以依據(jù)大于或小于指定分級(jí)用粒徑范圍的懸浮粒子濃度等級(jí)標(biāo)識(shí)。

　　ISO 14644的本部分為無(wú)塵車間和污染控制系列標(biāo)準(zhǔn)中的一個(gè)標(biāo)準(zhǔn).除懸浮粒子潔凈度之外,還有許多因素必須在潔凈室及其受控環(huán)境的設(shè)計(jì)、技術(shù)要求、運(yùn)行和控制中予以考慮。

　　ISO 14644-1潔凈室和潔凈區(qū)按空氣中懸浮粒子濃度的分級(jí)(國(guó)際標(biāo)準(zhǔn))