ISO 14644的本部分指定ISO分級(jí)的各級(jí)別,以此作為潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境內(nèi)空氣潔凈度的技術(shù)要求.本部分不僅確定了空氣中懸浮粒子測(cè)試的程序,而且確定了測(cè)試的標(biāo)準(zhǔn)方法.現(xiàn)在小編為你介紹格純凈化無(wú)塵車(chē)間。
為劃分等級(jí),ISO 14644的本部分于確定粒子濃度限值用的指定的粒徑范圍.本部分還提供了標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議,以依據(jù)大于或小于指定分級(jí)用粒徑范圍的懸浮粒子濃度等級(jí)標(biāo)識(shí)。
ISO 14644的本部分為無(wú)塵車(chē)間和污染控制系列標(biāo)準(zhǔn)中的一個(gè)標(biāo)準(zhǔn).除懸浮粒子潔凈度之外,還有許多因素必須在潔凈室及其受控環(huán)境的設(shè)計(jì)、技術(shù)要求、運(yùn)行和控制中予以考慮。
ISO 14644-1潔凈室和潔凈區(qū)按空氣中懸浮粒子濃度的分級(jí)(國(guó)際標(biāo)準(zhǔn))
空氣潔凈度等級(jí)（N）大于或等于所標(biāo)粒徑的粒子大濃度限值（個(gè)/每立方米空氣粒子）
0.1 um0.2 um0.3 um0.5um1um5 um
ISO Class 1102
ISO Class 210024104
ISO Class 31000237102358
ISO Class 41000023701035283
ISO Class 5100000237001003583229
ISO Class 61000000237000100035083293
ISO Class 7
35008302930
ISO Class 8
35000830029300
ISO Class 9
35000083000293000
注：由于涉及測(cè)量過(guò)程的不確定性，故要求用不超過(guò)三個(gè)有效的濃度數(shù)字來(lái)確定等級(jí)水平。
